東橫化學的氣櫃是以安全穩定地供應工程技術產業所需的特殊材料气體為目的開發的設備。 為應顧客需求配備了個機型的設備,迄今為止銷售的氣櫃系列累計已達3000台以上。 其次,可按研究材料,包括使用氣體的性質和消費量及供氣製造商的供給體制,商討和提供合適的供給型態之建議。
■氣櫃
主要存儲47L以下鋼瓶的氣體供給裝置。按供氣量,從10L小鋼瓶到同時供氣的多個鋼瓶。以小~中流量的氣體供給為研究的研究機構到生產工廠,眾多用戶有此需求。
■BSGS
Bulk Specialty Gas System的簡稱,即為大流量供氣裝置。儲存47L以上的大流量鋼瓶,在液晶和太陽電池的量產工廠中,是向大流量供氣所需用戶提供的供氣裝置。
維持高純度氣體的品質
對於代表半導體製造工廠的,具有高純度品質的需求,從部品到管道,將貫徹嚴格的選材宗旨,實現高質量的氣體供給。
安全性的設計理念
對具有毒性和爆炸性等危險性極強的氣體,以安全供氣為目標,根據各氣體的物理性質進行設計。
供氣穩定性的設計理念
提供24小時365天連續供氣體制需求。對可發生的各種故障,根據豐富的經驗進行穩定供給的設計。
減低環境負荷
不僅是日本,在海外也實行重視的節能和低環境負荷對策。
矽晶半導體 | Silicon Semiconductor |
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液晶顯示屏 | Liquid Crystal Display |
矽晶片 | Silicon Wafer |
等離子顯示屏 | Plasma Display |
太陽能電池 | Solar Battery |
化合物半導體 | Compound Semiconductor |
有機EL顯示屏 | Organic Electroluminescence Display |
化學 | Chemistry |
電子產品 | Parts of Electronics |
能源 | Energy |
鋼鐵 | Steel |
汽車 | Automobile |
醫療 | Medical |
研究所 | Laboratory |
SEMI規格的對應
主要根據海外顧客的需求,具有按世界標準的SEMI規格提供供氣裝置的業績。
No. | 化學式 | 氣體名稱 | No. | 化學式 | 氣體名稱 |
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1 | Ar | 氬 | 28 | H2 | 氫 |
2 | AsH3 | 砷化氫 | 29 | H2S | 硫化氫 |
3 | B2H6 | 乙硼烷 | 30 | H2Se | 硒化氫 |
4 | BCL3 | 三氯化硼 | 31 | HBr | 溴化氫 |
5 | C2F6 | 六氟乙烷 | 32 | HCL | 氯化氫 |
6 | C2HF5 | 五氟乙烷 | 33 | He | 氦 |
7 | C3F6 | 六氟丙烯 | 34 | HF | 氟化氫 |
8 | C3F8 | 全氟丙烷 | 35 | HI | 碘化氫 |
9 | C3H8 | 丙烷 | 36 | Kr | 氪 |
10 | C4F6 | 全氟丁二烯 | 37 | N2 | 氮 |
11 | C4F8 | 八氟環丁烷 | 38 | N2O | 笑氣 |
12 | C5F8 | 八氟環戊烯 | 39 | Ne | 氖 |
13 | CCL4 | 四氯化碳 | 40 | NF3 | 三氟化氮 |
14 | CF4 | 四氟甲烷 | 41 | NH3 | 氨 |
15 | CH2F2 | 二氟甲烷 | 42 | NO | 一氧化氮 |
16 | CH3F | 氟甲烷 | 43 | O2 | 氧 |
17 | CH3OH | 甲醇 | 44 | PH3 | 磷化氫 |
18 | CH4 | 甲烷 | 45 | SF6 | 六氟化硫 |
19 | CHF3 | 三氟甲烷 | 46 | Si2H6 | 二硅烷 |
20 | CL2 | 氯氣 | 47 | SiCL4 | 四氯化硅 |
21 | CLF3 | 氟化氯 | 48 | SiF4 | 四氟化硫 |
22 | CO | 一氧化碳 | 49 | SiH(CH3)3 | 三甲基硅烷 |
23 | CO2 | 二氧化碳 | 50 | SiH2CL2 | 四氯硅烷 |
24 | F2 | 氟氣 | 51 | SiH4 | 甲硅烷 |
25 | F2+Ar+Ne | 氟氬氖 | 52 | SiHCL3 | 四氯氫烷 |
26 | F2+Kr+Ne | 氟氪氖 | 53 | WF6 | 六氟化鎢 |
27 | GeH4 | 甲鍺烷 | 54 | Xe | 氙 |
No. | 災害‧事故原因 | 供給裝置 | No. | 災害‧事故原因 | 供給裝置 |
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1 | 地震 | 抗震實驗結果 | 30 | 液化 | 溫控系統 |
2 | 抗震金屬配件 | 31 | 稀釋空氣(防止結露) | ||
3 | 容器夾具 | 32 | 噴霧分離器 | ||
4 | 抗震器 | 33 | 閉塞 | 通風系統壓力監控 | |
5 | 火災 | 火災偵測器(UV-IR) | 34 | 安全閥 | |
6 | 容器散水閥 | 35 | 切斷氣體 | 壓力表 | |
7 | 煙感溫感傳感器 | 36 | 重量稱 | ||
8 | 支可燃筐體分離 | 37 | 自動切換 | ||
9 | 溫調自控 | 38 | 腐蝕 | 充填管腐蝕(N2吹掃) | |
10 | 防止逆流、壓力開關 | 39 | O型環選定 | ||
11 | N2架台分離 | 40 | 鈍化 | ||
12 | 管道電氣機殼分離 | 41 | 吹掃 | ||
13 | 容器隔板 | 42 | 停電、瞬時停電、霹靂 | 不間斷電源(UPS) | |
14 | 漏洩洩漏 | 氣體檢知器 | 43 | 齊納屏障 | |
15 | 微差壓計的安裝 | 44 | 故障 | 閥門壽命 | |
16 | 機殼、機殼排氣 | 45 | PLC冗餘系統 | ||
17 | 自動氣密、循環吹掃 | 46 | 竊盜 | 監控顯示屏 | |
18 | 通風管除害 | 47 | 鍵鑰匙鎖 | ||
19 | 通風管稀釋 | 48 | 認為錯誤 | 觸碰屏對話式 | |
20 | DEEP吹掃/CROSS吹掃 | 49 | 氣體銘牌表示 | ||
21 | 空氣管面罩 | 50 | 閉門器 | ||
22 | 鋼瓶更換時風險 | 51 | 閥門開關表示 | ||
23 | 超額流量開關(EFS) | 52 | 綜合 | 日常點檢 | |
24 | 壓力表 | 53 | 故障安全機構 | ||
25 | 容器元閥遮斷 | 54 | 報警燈、蜂鳴器 | ||
26 | 防爆 | 安全窗 | 55 | 連鎖 | |
27 | Z吹掃 | 56 | SEMI規格 | ||
28 | 接地 | ||||
29 | 爆炸散熱板 |
閉門器 | ・門全開位置上可固定。 ・操作窗也是自動閉鎖。 |
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手柄 | ・大門、操作窗都是彈簧鎖式。 ・大門、操作窗都可鎖定。 |
EMO | ・安裝位置離地板1,000mm ・使用開關保護盒。 |
PL密封 | ・張貼氣體特性的PL封印。 張貼場所為左操作窗、控制BOX |
配管系筐體板金 | ・機殼、門板厚度都為2.3mm。 |
控制系筐體板金 | ・機殼、門板厚度都為2.3mm。 |
墊片 | ・管道機殼和大門、大門和操作盤的每面應黏貼墊片。 |
公司標準全自動氣櫃CC2000S以外,還可洽談、建議和製作滿足客戶各種需求的供氣系統。
半自動氣櫃具有價格優勢,全手動式氣櫃也具有銷售業績。
供給裝置洽談之際,我們將考慮客戶價格與規格的平衡,建議和製作對客戶的最為適合機種。
敬請洽談。