廢氣處理裝置
廢氣處理裝置是為防止大氣汙染、破壞環境的設備。具體功能如下：
*有毒氣體的無害化理；
*可燃性氣體的安全排放；
*地球溫暖化氣體的分解處理；
*生產設備排放副生成物的無害化。
廢氣處理方法具有燃燒式、加熱分解式、濕式、催化等離子分解式、吸附式等方法。本公司利用多年在氣體和半導體業界中的經驗，選定符合客戶條件的廢氣處理設備，提供包括環境的解決問題的方案。
■ 電子學產業的分類
■ 廢氣處理方法的分類
■ 廢氣處理裝置用途的分類
１、生產設備廢氣處理裝置・・・生產設備排氣處理２、C/C VENT廢氣處理裝置・・・鋼瓶更換時的殘氣處理
３、緊急廢氣處理裝置・・・供給設備內氣體洩漏時的緊急處理
■ 評價手法
處於客戶立場面，使用如下評價手法，構建和建議最適合的廢氣處理系統。
■TCO(總所有成本)方法評價成本平衡
廢氣處理裝置本體價格、五年間的主要效用成本、五年間的維修配件費用換算成處理單價(日幣/100L) ，一旦發生時，可預測的費用予以評價。
■性能技術的評價
考慮廢氣處理裝置的最大處理能力、保證條件和腐蝕性的對策，粉體發生的對策和客戶設置條件，對其性能方面予以評價。
■安全、穩定運轉的評價
對廢氣處理裝置的維修保養體制、週期、方法、引進後業績和持續運轉以及對考慮處理氣體性質的安全運營進行研討評價。
純化裝置
是指電子工廠所需的高純度氣體純化裝置。
本公司從各家純化裝置製造商、純化方式中提供給最適合客戶的方案。
充分利用多年的氣體處理經驗，向客戶提供嫻熟的純化裝置技術。
同時也銷售NH3、HCl等特殊材料氣體用純化裝置、ArF液浸型分檔器用空氣及N2純化裝置。
■ 去除對象N2、O2、CO、CO2、CH4、H2、H2O、Particle
■ 保證值1ppb 以下
去除對象和保證值因按純化方式、純化氣體、去除對象而各不相同，根據商談條件決定最終保證條件。
