系統控制軟件

系統控制軟件ToPS9是在通用PC的Windows上進行動作，是半導體製造裝置最初進行工藝程序控制的系統控制。 工藝程序控制具備必要的菜譜創建功能、執行功能、監控功能及履歷功能。

■ 對象設備

・半導體製造裝置、理化學裝置、氣體供給裝置、其他。

■ 產品概要

・PLC鏈接功能

・ 圖形顯示功能

・菜譜可存儲數
　99本（99步驟/菜譜）

・步驟設定
　步驟名稱（半角8字符）
　數字輸出（閥門類） 48點
　流量設定 12點
　溫度設定 5點

・步驟進展條件
　時間（最大99h59m59s）
　溫度、壓力、外部輸入及觸摸屏的輸入溫度

・報警聯鎖功能
　對氣體流量、溫度及外部輸入分別設定聯鎖等級（4等級），設定聯鎖跳轉目標（任意的食譜號碼、步驟號碼）

・數據更換功能
　運行中菜譜的所有步驟的設定內容可更換

・數據履歷功能
　任意步驟時的溫度和氣體流量

・運轉履歷功能
　保存開始處理時間、終了時間、成膜步驟時的氣體流量和溫度等的最新100批量

・報警履歷
　保存最新50份事件

・歷史趨勢功能
　以每秒100批量保存溫度、氣體流量、真空。

■ 動作環境

對應OS Windows 7
可鏈接PLC的硬件 Microsoft　
Windows是美國Microsoft公司和其他國家的註冊商標。

■ 提供型態

・軟件單體

・客戶訂製

・硬件環境設定和鏈接

・PLC鏈接設定

・PLC程序

以上任何都可組合，本軟件需PLC為I/O控制。